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推荐更有效的金刚石平坦化技术：避免机械性损伤，促进实用化

钻石具有高电子迁移率、高热导率、和低介电常数等优异的电学性质，禁带宽度为5.47eV，是当前单质半导体材料中带隙最宽的材料，可望应用做为宽能隙半导体予以实用化。但金刚石硬度极高，而 [更多]
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