推荐三井化学将量产EUV光罩保护膜,或将采用碳纳米管材料

6月18日消息,日本化工大厂三井化学日前宣布,将开始量产EUV光罩保护膜(pellicles),可支持ASML将推出的下一代拥有超过600W光源功率的EUV光刻机。为此,三井化学计 [更多]
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