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推荐三星旗下Semes成功开发出一种ArF-i光刻涂胶/显影设备

三星电子旗下的韩国半导体和显示器制造设备公司表示，第一台名为“OmegaPrime”的设备已于去年供货，Semes正在制造第二台设备。目前，Semes已制造出KrF光刻涂胶/显影设 [更多]
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