推荐江苏华林科纳半导体关于非晶半导体中的光刻工艺的研究报告

引言在光刻过程中,光敏材料根据其上的辐照量改变其在某些蚀刻剂中的溶解度。在高分辨率光刻材料的薄层中形成的浮雕图案可以作为集成光学或集成电子器件的组件使用,也可以作为沉积它们的基板处 [更多]
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